반도체 제조공정 내 Wafer 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot으로 정밀한 위치 제어, 높은 신뢰성/정밀성 등을 특징으로 하고 있습니다.

- 6", 8", 12" Wafer 대응 가능 (협의 필요)
- Slide 구조로 진직도 및 속도 향상
- Arm Stroke : 480mm
- Z축 Option (Low Pass Line 및 Long Stroke 대응) : Stroke 및 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 등)
- 주행축 Option : Stroke 및 Type (리니어, Belt, Bass Screw, Rack Pinion 등)